界面新闻· jianli@jiemian.com(界面快报)·2026-10-20 11:35· 19 天前AI 评分58超纯应材宣布5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产超纯应材:5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产AI 摘要超纯应材宣布,其面向5nm及以下制程刻蚀设备的核心零部件已实现稳定量产。材料仅提供标题,未披露具体产品型号、客户、产能或验证数据。来源:界面新闻 · jiemian.com#集群与供电查看事件全部后续00 AI 辅助阅读展开