中国极紫外光源样机国产化率达90%，距离量产还需3—5年

朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会上首次公开展示国产EUV光源系统样机，国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发。该光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。现场工作人员称，该样机距离量产还需3—5年。