金十数据·2026-10-20 19:13· 19 天前AI 评分34中科仪拟扩产集成电路干式真空泵项目中科仪:拟实施集成电路干式真空泵扩产项目AI 摘要中科仪计划投资4.23亿元扩产干式真空泵,提升半导体设备产能,可能影响供应链选择。来源:金十数据 · #行业动态#非AI/通用工具00 AI 辅助阅读展开