科创板半导体设备三季报：营收正增长，景气度分化

截至目前，科创板公司2026年三季度财报均已披露，多数科创板半导体设备公司实现营收净利增长。 科创板共有16家半导体设备企业，覆盖刻蚀、薄膜沉积、检测、封测等核心环节。 今年第三季度，16家科创板半导体设备公司均实现营收正增长，14家实现盈利，2家陷入亏损。 中微公司、拓荆科技、盛美上海、华海清科、富创精密营收规模排在前五位； 晶升股份、恒运昌、耐科装备、先锋精科、强一股份营收增速排名靠前。 归母净利润方面，中微公司、拓荆科技、屹唐股份、华海清科、华峰测控五家公司的归母净利润规模排名居前；

中科飞测、屹唐股份、富创精密、深科达、中微公司归母净利润增速排名依次靠前。 头部设备厂商增长较为稳健。 刻蚀设备龙头中微公司第三季度实现归母净利润13.09亿元，同比增长159.02%。 薄膜沉积设备龙头拓荆科技第三季度实现归母净利润10.88亿元，同比增长135.39%。 CMP设备龙头华海清科三季度营收同比增长23.71%，归母净利润增长53.46%。 与头部企业的稳健形成鲜明对比的是，部分细分领域厂商业绩承压。 清洗设备厂商盛美上海单季度归母净利润同比下滑85.70%；

涂胶显影设备厂商芯源微单季度亏损0.63亿元，同比由盈转亏； 晶体生长设备厂商晶升股份也出现亏损。 不同设备品类的景气度差异显著，精密结构件厂商富创精密第三季度营收同比增长47.31%，归母净利润同比增长292.82%； 设备耗材企业强一股份营收同比增长58.08%。 检测设备赛道保持较高景气度。 模拟测试机厂商华峰测控三季度营收同比增长51.72%，光学检测厂商中科飞测营收增长34.73%，归母净利润同比增长783.70%。

多位受访人士表示，当前半导体设备行业正处于周期底部，短期压力客观存在，但无需过度悲观，结构性机会与长期成长逻辑依然清晰。 AI算力与存储扩产构成了不受传统消费电子周期约束的独立需求曲线。 出口管制不是在“限制”国产设备，是在创造国产设备的非竞争性市场。 大基金三期的资本金到位，消除了扩产“断档”的尾部风险。 国产半导体设备公司未来三年交易的是“在已经替代的环节里，谁能把毛利率守住、把单价做上去”的价值量故事。 平台型公司的竞争优势将从“品类覆盖广度”转向“先进节点工艺的不可替代性”。